8 727 250 29 69

tech_info@nanolab.kz logos@nanolab.kz

Главная ОборудованиеОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ОБРАЗОВАНИЯ, НАУЧНЫХ И ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЙ Электронные микроскопы для образования и науки

Оборудование для образовательных программ, научных исследований и технологических процессов

Серия сканирующих электронных микроскопов LYRA 3 FEG (Tescan)


Серия сканирующих электронных микроскопов LYRA 3 FEG - это удобное сочетание автоэмиссионного электронного микроскопа высокого разрешения и ионной колонны с различными дополнениями, что превращает LYRA 3 FEG в модель для самых взыскательных пользователей.
Описание системы:

  • Полностью интегрированное в ПО микроскопа управление электронной колонной (SEM), ионной колонной (FIB) и системой инжектирования газов (GIS).
  • Новое поколение модуля для нано литографии DrawBeam с возможностью программирования собственных процедур автоматизации.
  • Максимально большая камера образцов с геометрией портов, оптимизированной для задач микроанализа.
  • Характеристики электронной колонны (FEG SEM)
  • Колонна SEM на основе MIRA 3 Wide Field OpticsTM c катодом с полевой эмиссией (катодом Шоттки) и с уникальной трехлинзовой электронной оптикой Wide Field OpticsTM для оптимизации формы и размера пучка.

Функции колонны SEM:

  • Получение изображений.
  • Реализация возможностей микроанализа.
  • Навигация по образцам.
  • Литография электронным пучком (доступно при установке опционального прерывателя электронного зонда Beam Blanker).
  • Характеристики ионной колонны (FIB).
  • Ионная колонна с уникальной ионной оптикой, оснащённая жидкометаллическим источником ионов галлия и откачивающаяся двумя независимыми ионными насосами для минимизации эффекта рассеяния.
  • Моторизованный механизм высокой точности для смены апертур. Прерыватель зонда и ячейка Фарадея в стандартной комплектации.

Функции колонны FIB:

  • Микро/нано модификация поверхности образцов.
  • Литография ионным пучком.
  • Характеристики системы инжектирования газов (GIS).
  • Несколько независимых резервуаров с газом в стандартной комплектации.
  • Осаждение проводящих или непроводящих материалов.
  • Селективное или улучшенное травление в присутствии различных газов.
  • Опционально доступна Mono-GIS система.

Характеристики нано манипуляторов:

  • Манипулирование (например, перемещение ламелей для просвечивающей микроскопии).
  • Тестирование материалов.
  • Инструменты для обработки.
  • Нанозондирование и тестирование.

Варианты исполнения LYRA 3 FEG - модель с рабочим значением вакуума в камере образцов порядка 10-3 Па используется для исследований токопроводящих образцов и модель для работы при переменном вакууме в камере образцов (вплоть до 150 Па). Сохраняя все преимущества работы в режиме высокого вакуума, при переходе в режим низкого вакуума дополнительно позволяет исследовать непроводящие образцы без предварительного нанесения токопроводящего слоя.

С более подробной информацией о серии сканирующих электронных микроскопах LYRA 3 FEG, Вы можете ознакомиться на сайте компании Tescan  www.tescan.ru/products.


Системные и комплексные

решения для образования, науки и промышленности

Аналитическое и лабораторное

оборудование для макро, микро и нано исследований

▲ Наверх