Партнерские программы для образования, науки и промышленности

Настольная вакуумная установка магнетронного напыления VSE-PVD-DESK-PRO

Установка разработана для отработки технологий нанесения покрытий и проведения научных исследований в области материаловедения, приборостроения, электроники, нанесения оптических покрытий, микромеханических устройств (MEMS) и др. методом магнетронного напыления металлических и диэлектрических покрытий на твёрдые и дисперсные образцы.

Отличительные особенности установки:

• Полностью безмасляная откачка;

• Визуальный контроль процесса осаждения покрытий;

• Измерение скорости осаждения, толщины покрытия и ресурса кристалла кварцевыми микровесами с пневматической заслонкой;
• Минимизация диаметра нераспыляемой центральной части магнетрона;
• Возможность установки дополнительного магнетрона и ионного источника;
  
• Простота использования и высокое качество получаемых покрытий;
  
• Высокая повторяемость результатов с заданными свойствами.
  

Система управления обеспечивает управление откачкой, потоками газов, электромагнитными клапанами, шаговым двигателем и технологическими источниками питания. В устройстве предусмотрены системы блокировок по потоку воды и допустимому вакууму. Опциально реализованы - подача газа непосредственно через магнетрон и нагрев подложкодержателя. Интеллектуальный интерфейс и наличие цветного сенсорного экрана позволяют легко и комфортно управлять рабочим процессом.

Основные технические характеристики:

• Предельное остаточное давление - 10^-7 мБар;

• Скорость осаждения в зависимости от типа напыляемого материала - до 7,5 Å/сек;
  
• Мощность разряда - до 1,5 кВт;
  
• Однородность наносимых покрытий - ±10 %;
  
• Широкий диапазон плавного регулирования выходной средней мощности - от 0,1 до 3 кВт;
  
• Точность позиционирования подложки - до 0,5 мм;
  
• Одновременная загрузка 4-х подложек d = 90 мм или 6-ти подложек d = 70 мм;
  
• Варьируемая толщина покрытий - от 10^-8 м до 10^-6 м;
  
• Регулировка высоты расположения мишени относительно магнетрона;
  
• Масса – 87 кг;
  
• Размеры установки (ДхШхВ) – 1050х700х670 мм.
  

Оптимальное соотношение цена/качество для установок этого класса даёт возможность использовать его в учебном процессе образовательных учреждений, реализующих инновационные программы естественно-научного и инженерного направлений.