Партнерские программы для образования, науки и промышленности

Настольная вакуумная установка магнетронного напыления VSE-PVD-DESK-PRO
Установка разработана для отработки технологий нанесения покрытий и проведения научных исследований в области материаловедения, приборостроения, электроники, нанесения оптических покрытий, микромеханических устройств (MEMS) и др. методом магнетронного напыления металлических и диэлектрических покрытий на твёрдые и дисперсные образцы.
Отличительные особенности установки:
-
Полностью безмасляная откачка;
-
Визуальный контроль процесса осаждения покрытий;
- Измерение скорости осаждения, толщины покрытия и ресурса кристалла кварцевыми микровесами с пневматической заслонкой;
- Минимизация диаметра нераспыляемой центральной части магнетрона;
- Возможность установки дополнительного магнетрона и ионного источника;
- Простота использования и высокое качество получаемых покрытий;
- Высокая повторяемость результатов с заданными свойствами.
Система управления обеспечивает управление откачкой, потоками газов, электромагнитными клапанами, шаговым двигателем и технологическими источниками питания. В устройстве предусмотрены системы блокировок по потоку воды и допустимому вакууму. Опциально реализованы - подача газа непосредственно через магнетрон и нагрев подложкодержателя. Интеллектуальный интерфейс и наличие цветного сенсорного экрана позволяют легко и комфортно управлять рабочим процессом.
Основные технические характеристики:
-
Предельное остаточное давление - 10-7 мБар;
- Скорость осаждения в зависимости от типа напыляемого материала - до 7,5 Å/сек;
- Мощность разряда - до 1,5 кВт;
- Однородность наносимых покрытий - ±10 %;
- Широкий диапазон плавного регулирования выходной средней мощности - от 0,1 до 3 кВт;
- Точность позиционирования подложки - до 0,5 мм;
- Одновременная загрузка 4-х подложек d = 90 мм или 6-ти подложек d = 70 мм;
- Варьируемая толщина покрытий - от 10-8 м до 10-6
м;
- Регулировка высоты расположения мишени относительно магнетрона;
- Масса – 87 кг;
- Размеры установки (ДхШхВ) – 1050х700х670 мм.
Оптимальное соотношение цена/качество для установок этого класса даёт возможность использовать его в учебном процессе образовательных учреждений, реализующих инновационные программы естественно-научного и инженерного направлений.