Партнерские программы для образования, науки и промышленности

Настольная вакуумная установка VSE-PVD-DESK-PRO (ВТО)

Установка разработана для отработки технологий нанесения покрытий. Успешно применяется для проведения научных исследований в области материаловедения, приборостроения, электроники, нанесения оптических покрытий, микромеханических устройств (MEMS) методом магнетронного напыления металлических и диэлектрических покрытий на твёрдые и дисперсные образцы. Может с успехом использоваться в университетских курсах МЕТОДЫ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ.

Отличительные особенности установки:

• полностью безмасляная откачка;

• визуальный контроль процесса осаждения покрытий;

• измерение скорости осаждения, толщины покрытия и ресурса кристалла кварцевыми микровесами с пневматической заслонкой;

• минимизация диаметра нераспыляемой центральной части магнетрона;

• возможность установки дополнительного магнетрона и ионного источника;

• простота использования и высокое качество получаемых покрытий;

• высокая повторяемость результатов с заданными свойствами.