Электронные микроскопы для образования и науки

Серия сканирующих электронных микроскопов VEGA была спроектирована для широкого круга применений и потребностей в современных областях науки и промышленности. Все наработки за десятилетнюю историю непрерывного развития микроскопов серии Vega были воплощены в третьем поколении.

Основные особенности поколения VEGA 3:

• Новейшая высокоэффективная электроника для быстрого накопления изображений и обработки сигналов.
• Высокоскоростная система сканирования нового поколения с компенсацией статических и динамических искажений.
• Дополнительные режимы сканирования благодаря использованию оригинальной электронной оптики Wide Field Optics™.
• Уникальная технология Tescan In-Flight Beam Tracing™ позволяет оптимизировать параметры электронного пучка в реальном времени.
• Обновлённое программное обеспечение с высоким уровнем автоматизации.
• Программное обеспечение со встроенным языком программирования (Python) для расширения возможностей пользователей.

Аналитический потенциал:

• Чувствительные детекторы электронов с высококлассными YAG кристаллами.
• Широкий выбор детекторов и аксессуаров.
• Интерфейсные порты рабочей камеры с оптимальной геометрией для установки детекторов EDX, WDX и EBSD.
• Мощные турбомолекулярный и форвакуумный насосы обеспечивают достижение рабочего вакуума за несколько минут.
• Исследования непроводящих образцов в их естественном состоянии при переменном уровне вакуума в камере образцов.
• Несколько типов подвески камеры образцов и колонны на выбор для эффективного снижения влияния внешних вибраций.
• 3D-измерения реконструированной поверхности с использованием интегрированного ПО.

На данный момент серия VEGA 3 представлена 6 моделями отличных микроскопов различающихся по размеру камеры образцов, диапазоном перемещения столика, возможностью работы в переменном вакууме и антивибрационной подвеской для защиты от внешних вибраций.

С более подробной информацией о серии сканирующих электронных микроскопах VEGA 3, Вы можете ознакомиться на сайте компании Tescan по ссылке http://www.tescan.ru/products.

Серия сканирующих электронных микроскопов MIRA - это третье поколение микроскопов высокого разрешения, оснащённых катодом Шоттки высокой яркости в качестве источника электронов (катодом с полевой эмиссией).

Особенности микроскопов третьего поколения MIRA 3:

• Новейшая высокоэффективная электроника для быстрого накопления качественных изображений и обработки сигналов.
• Компенсация статических и динамических аберраций при ультравысоких скоростях сканирования.
• Технология Wide Field Optics™ для работы в различных режимах сканирования (Разрешение, Глубина, Широкое поле обзора и т.д.).
• Программное обеспечение для управления, настройки и диагностики микроскопа, автоматизированные процедуры настройки.
• Интегрированный программный модуль для нано-литографии нового поколения.
• Встроенный язык программирования для создания собственных процедур автоматизации исследований.

Превосходные аналитические возможности:

• Детекторы, сконструированные на основе высокочувствительных YAG кристаллов в качестве сцинтилляторов.
• Обширный выбор опциональных детекторов и аксессуаров.
• Интерфейсные порты камеры микроскопа оптимизированы для аналитических детекторов.
• Интегрированная активная электромагнитная подвеска в качестве опции эффективно подавляет влияние внешних вибраций.
• Достижение рабочего вакуума в камере за несколько минут посредством мощных турбомолекулярного и форвакуумного насосов.
• Модели микроскопов с переменным давлением в камере для исследования непроводящих образцов.
• Несколько вариантов исполнения подвески колонны позволяют подобрать оптимальную для Вашей лаборатории защиту от внешних вибраций.
• Измерение истинного 3D профиля, площади или объёма поверхности с помощью 3D реконструкции поверхности в опциональной программе MeX.

Микроскоп для прецизионных исследований FEG SEM MIRA 3 доступен с двумя вариантами размеров камер и с двумя вариантами исполнения камер по отношению к вакуумному режиму.

С более подробной информацией о серии сканирующих электронных микроскопах MIRA, Вы можете ознакомиться на сайте компании Tescan по ссылке http://www.tescan.ru/products.

Серия сканирующих электронных микроскопов VELA FIBxSEM - это удобное сочетание электронной и ионной колонн на одной камере. Возможность модификации поверхности сфокусированным ионным пучком расширяет границы применения электронного микроскопа.

Характеристики электронной колонны (SEM):

• Колонна SEM на основе VEGA 3 Wide Field Optics™ с вольфрамовым катодом с термоэмиссией.
• Обновлённая технология In-Flight Beam Tracing™ для контроля и оптимизации рабочих характеристик и параметров пучка электронов.

Функции колонны SEM:

• Получение изображений
• Реализация возможностей микроанализа.
• Навигация по образцам.
• Литография электронным пучком (доступно при наличии опционального прерывателя электронного зонда Beam Blanker).

Характеристики ионной колонны (FIB):

• Ионная колонна с уникальной ионной оптикой, оснащённая жидкометаллическим источником ионов галлия и откачивающаяся двумя независимыми ионными насосами для минимизации эффекта рассеяния.
• Моторизованный механизм высокой точности для смены апертур. Прерыватель зонда и ячейка Фарадея в стандартной комплектации.

Функции колонны FIB:

• Микро/нано модификация поверхности образцов.
• Литография ионным пучком.

Характеристики системы инжектирования газов (GIS):

• Несколько независимых резервуаров с газом в стандартной комплектации.
• Осаждение проводящих или непроводящих материалов.
• Селективное или улучшенное травление в присутствии различных газов.
• Опционально доступна Mono-GIS система.

Характеристики нано манипуляторов:

• Манипулирование (например, перемещение ламелей для просвечивающей микроскопии).
• Тестирование материалов.
• Инструменты для обработки.
• Нанозондирование и тестирование.

Два варианта исполнения VELA 3 FIBxSEM - модель с рабочим значением вакуума в камере образцов порядка 10-3 Па используется для исследований токопроводящих образцов и модель для работы при переменном вакууме в камере образцов (до 500 Па), при переходе в режим низкого вакуума дополнительно позволяет исследовать непроводящие образцы без предварительного нанесения токопроводящего слоя.

С более подробной информацией о серии сканирующих электронных микроскопах VELA FIBxSEM, Вы можете ознакомиться на сайте компании Tescan по ссылке http://www.tescan.ru/products.

Серия сканирующих электронных микроскопов LYRA 3 FEG - это удобное сочетание автоэмиссионного электронного микроскопа высокого разрешения и ионной колонны с различными дополнениями, что превращает LYRA 3 FEG в модель для самых взыскательных пользователей.



Описание системы:

• Полностью интегрированное в ПО микроскопа управление электронной колонной (SEM), ионной колонной (FIB) и системой инжектирования газов (GIS).
• Новое поколение модуля для нано литографии DrawBeam с возможностью программирования собственных процедур автоматизации.
• Максимально большая камера образцов с геометрией портов, оптимизированной для задач микроанализа.
• Характеристики электронной колонны (FEG SEM)
• Колонна SEM на основе MIRA 3 Wide Field OpticsTM c катодом с полевой эмиссией (катодом Шоттки) и с уникальной трехлинзовой электронной оптикой Wide Field OpticsTM для оптимизации формы и размера пучка.

Функции колонны SEM:

• Получение изображений.
• Реализация возможностей микроанализа.
• Навигация по образцам.
• Литография электронным пучком (доступно при установке опционального прерывателя электронного зонда Beam Blanker).
• Характеристики ионной колонны (FIB).
• Ионная колонна с уникальной ионной оптикой, оснащённая жидкометаллическим источником ионов галлия и откачивающаяся двумя независимыми ионными насосами для минимизации эффекта рассеяния.
• Моторизованный механизм высокой точности для смены апертур. Прерыватель зонда и ячейка Фарадея в стандартной комплектации.

Функции колонны FIB:

• Микро/нано модификация поверхности образцов.
• Литография ионным пучком.
• Характеристики системы инжектирования газов (GIS).
• Несколько независимых резервуаров с газом в стандартной комплектации.
• Осаждение проводящих или непроводящих материалов.
• Селективное или улучшенное травление в присутствии различных газов.
• Опционально доступна Mono-GIS система.

Характеристики нано манипуляторов:

• Манипулирование (например, перемещение ламелей для просвечивающей микроскопии).
• Тестирование материалов.
• Инструменты для обработки.
• Нанозондирование и тестирование.

Варианты исполнения LYRA 3 FEG - модель с рабочим значением вакуума в камере образцов порядка 10-3 Па используется для исследований токопроводящих образцов и модель для работы при переменном вакууме в камере образцов (вплоть до 150 Па). Сохраняя все преимущества работы в режиме высокого вакуума, при переходе в режим низкого вакуума дополнительно позволяет исследовать непроводящие образцы без предварительного нанесения токопроводящего слоя.

С более подробной информацией о серии сканирующих электронных микроскопах LYRA 3 FEG, Вы можете ознакомиться на сайте компании Tescan по ссылке http://www.tescan.ru/products.

Система для автоматического минералогического анализа TIMA (the TESCAN Integrated Mineral Analyzer) разработанная компанией позволяет выполнять автоматический минералогический анализ или автоматический анализ раскрытий и ассоциаций минералов, оценивать эффективность процессов дробления и обогащения, надёжно диагностировать в образцах зерна редких минералов с драгоценными или с редкоземельными металлами, строить распределения зёрен или частиц по морфологическим признакам.

Уникальность технологии, предложенной TESCAN, заключается в высокой степени интеграции между сканирующим электронным микроскопом (SEM) и энергодисперсионными спектрометрами (EDX), благодаря чему сбор данных, объединяющих в себе электронные изображения и характеристические спектры с каждого пикселя изображения, происходит с беспрецедентно высокой скоростью и в полностью автоматическом режиме. В большой камере образцов находится управляемый с компьютера столик с прецизионным перемещением, в который монтируется специальный держатель для минералогических образцов (до 7 образцов диаметром 30 мм). В центре держателя размещены стандарты для автоматической калибровки энергодисперсионных спектрометров (EDX) и детектора отражённых электронов (BSE). Стандарты включают в себя платиновую ячейку Фарадея (для автоматической настройки уровня BSE-сигнала), Mn, Cu, С, Au, кварц (набор стандартов может быть изменён по запросу пользователя).

Преимущества TIMA:

• Быстрый и полностью автоматический сбор данных, скорость которого обусловлена, прежде всего, глубокой аппаратной интеграцией между сканирующим электронным микроскопом (SEM) и энергодисперсионными спектрометрами (EDX).
• Реализация на базе SEM с вольфрамовым термо-катодом либо с катодом с полевой эмиссией типа Шоттки.
• Съёмные держатели образцов видоизменённого дизайна со встроенными стандартами для калибровки BSE/EDX и с ячейкой Фарадея.
• Возможность монтирования образцов переменного размера.
• На одну систему может быть установлено вплоть до 4-х энергодисперсионных спектрометров (EDX), что позволяет добиться максимальной производительности.
• Применение без азотных EDX спектрометров с охлаждением Пельтье гарантирующих термическую стабильность.
• Улучшенный подход к сбору и обработке данных повышает скорость и надёжность анализа.
• Варьируемая длительность сбора спектра с каждого пикселя (dwell-time) даёт возможность оптимизировать время анализа каждого минерала.
• Программное обеспечение выпускается в трёх модификациях.
• Модульная схема программного обеспечения.
• Классификационные схемы, настраиваемые пользователем.
• Оптимальное соотношение цены и возможностей.
• Индивидуальная модификация системы «на заказ».

С более подробной информацией о системе для автоматического минералогического анализа TIMA, Вы можете ознакомиться на сайте компании Tescan по ссылке http://www.tescan.ru/products.

Сканирующий электронный микроскоп INDUSEM - это новая модель сканирующего электронного микроскопа, предназначенная для промышленных применений. Система спроектирована на основе третьего поколения VEGA SEMs с максимально большой камерой образцов. Благодаря компактному исполнению и возможности лёгкой транспортировки, электронный микроскоп INDUSEM является идеальным решением для высокоточного контроля качества и обнаружения отказов применительно к производственным процессам различных типов непосредственно на рабочем месте.

Особенности модели ориентированной на производственные условия:

• Компактное исполнение и колёсная база для лёгкой транспортировки.
• Максимально большая камера и надёжный столик образцов для размещения больших и тяжёлых объектов.
• Возможность работы с переменным вакуумом в камере для исследования различных образцов, в том числе и не проводящих электрический ток.
• Удобный сенсорный интерфейс управления для быстрого анализа образцов.
• Активная электромагнитная подвеска эффективно снижает влияние внешних вибраций.

Аналитический потенциал:

• Чувствительные детекторы электронов сцинтилляционного типа с высококлассными YAG кристаллами.
• Широкий выбор опциональных детекторов и аксессуаров.
• Интерфейсные порты камеры с оптимальной геометрией для установки детекторов EDX, WDX, EBSD.
• Мощные турбомолекулярный и форвакуумный насосы обеспечивают достижение рабочего вакуума за несколько минут.

Автоматизация:

• Исполнение колонны без механически центрируемых элементов позволяет сделать настройку и регулировку электронно-оптической системы полностью автоматической.
• Программное обеспечение с высоким уровнем автоматизации для настройки, регулировки и работы.
• Опциональные программные модули для автоматизации анализа частиц на образце большой площади.
• Встроенный язык программирования (Python) с доступом к управляющим функциям СЭМ для создания собственных процедур автоматизации исследований.

С более подробной информацией о сканирующем электронном микроскопе INDUSEM, Вы можете ознакомиться на сайте компании Tescan по ссылке http://www.tescan.ru/products.