Электронные микроскопы для образования и науки

Серия сканирующих электронных микроскопов VEGA была спроектирована для широкого круга применений и потребностей в современных областях науки и промышленности. Все наработки за десятилетнюю историю непрерывного развития микроскопов серии Vega были воплощены в третьем поколении.

Основные особенности поколения VEGA 3:

• Новейшая высокоэффективная электроника для быстрого накопления изображений и обработки сигналов.
• Высокоскоростная система сканирования нового поколения с компенсацией статических и динамических искажений.
• Дополнительные режимы сканирования благодаря использованию оригинальной электронной оптики Wide Field Optics™.
• Уникальная технология Tescan In-Flight Beam Tracing™ позволяет оптимизировать параметры электронного пучка в реальном времени.
• Обновлённое программное обеспечение с высоким уровнем автоматизации.
• Программное обеспечение со встроенным языком программирования (Python) для расширения возможностей пользователей.

Аналитический потенциал:

• Чувствительные детекторы электронов с высококлассными YAG кристаллами.
• Широкий выбор детекторов и аксессуаров.
• Интерфейсные порты рабочей камеры с оптимальной геометрией для установки детекторов EDX, WDX и EBSD.
• Мощные турбомолекулярный и форвакуумный насосы обеспечивают достижение рабочего вакуума за несколько минут.
• Исследования непроводящих образцов в их естественном состоянии при переменном уровне вакуума в камере образцов.
• Несколько типов подвески камеры образцов и колонны на выбор для эффективного снижения влияния внешних вибраций.
• 3D-измерения реконструированной поверхности с использованием интегрированного ПО.

На данный момент серия VEGA 3 представлена 8 модификациями отличных микроскопов различающихся по размеру камеры образцов, диапазоном перемещения столика, возможностью работы в переменном вакууме и антивибрационной подвеской для защиты от внешних вибраций.

С более подробной информацией о серии сканирующих электронных микроскопах VEGA 3, Вы можете ознакомиться на сайте компании Tescan  www.tescan.ru/products.

Серия сканирующих электронных микроскопов MIRA - это третье поколение микроскопов высокого разрешения, оснащённых катодом Шоттки высокой яркости в качестве источника электронов (катодом с полевой эмиссией).

Особенности микроскопов третьего поколения MIRA 3:

• Новейшая высокоэффективная электроника для быстрого накопления качественных изображений и обработки сигналов.
• Компенсация статических и динамических аберраций при ультравысоких скоростях сканирования.
• Технология Wide Field Optics™ для работы в различных режимах сканирования (Разрешение, Глубина, Широкое поле обзора и т.д.).
• Программное обеспечение для управления, настройки и диагностики микроскопа, автоматизированные процедуры настройки.
• Интегрированный программный модуль для нано-литографии нового поколения.
• Встроенный язык программирования для создания собственных процедур автоматизации исследований.

Превосходные аналитические возможности:

• Детекторы, сконструированные на основе высокочувствительных YAG кристаллов в качестве сцинтилляторов.
• Обширный выбор опциональных детекторов и аксессуаров.
• Интерфейсные порты камеры микроскопа оптимизированы для аналитических детекторов.
• Интегрированная активная электромагнитная подвеска в качестве опции эффективно подавляет влияние внешних вибраций.
• Достижение рабочего вакуума в камере за несколько минут посредством мощных турбомолекулярного и форвакуумного насосов.
• Модели микроскопов с переменным давлением в камере для исследования непроводящих образцов.
• Несколько вариантов исполнения подвески колонны позволяют подобрать оптимальную для Вашей лаборатории защиту от внешних вибраций.
• Измерение истинного 3D профиля, площади или объёма поверхности с помощью 3D реконструкции поверхности в опциональной программе MeX.

Микроскоп для прецизионных исследований FEG SEM MIRA 3 доступен с двумя вариантами размеров камер и с двумя вариантами исполнения камер по отношению к вакуумному режиму.

С более подробной информацией о серии сканирующих электронных микроскопах MIRA, Вы можете ознакомиться на сайте компании Tescan  www.tescan.ru/products.

Серия сканирующих электронных микроскопов LYRA 3 FEG - это удобное сочетание автоэмиссионного электронного микроскопа высокого разрешения и ионной колонны с различными дополнениями, что превращает LYRA 3 FEG в модель для самых взыскательных пользователей.
Описание системы:

• Полностью интегрированное в ПО микроскопа управление электронной колонной (SEM), ионной колонной (FIB) и системой инжектирования газов (GIS).
• Новое поколение модуля для нано литографии DrawBeam с возможностью программирования собственных процедур автоматизации.
• Максимально большая камера образцов с геометрией портов, оптимизированной для задач микроанализа.
• Характеристики электронной колонны (FEG SEM)
• Колонна SEM на основе MIRA 3 Wide Field OpticsTM c катодом с полевой эмиссией (катодом Шоттки) и с уникальной трехлинзовой электронной оптикой Wide Field OpticsTM для оптимизации формы и размера пучка.

Функции колонны SEM:

• Получение изображений.
• Реализация возможностей микроанализа.
• Навигация по образцам.
• Литография электронным пучком (доступно при установке опционального прерывателя электронного зонда Beam Blanker).
• Характеристики ионной колонны (FIB).
• Ионная колонна с уникальной ионной оптикой, оснащённая жидкометаллическим источником ионов галлия и откачивающаяся двумя независимыми ионными насосами для минимизации эффекта рассеяния.
• Моторизованный механизм высокой точности для смены апертур. Прерыватель зонда и ячейка Фарадея в стандартной комплектации.

Функции колонны FIB:

• Микро/нано модификация поверхности образцов.
• Литография ионным пучком.
• Характеристики системы инжектирования газов (GIS).
• Несколько независимых резервуаров с газом в стандартной комплектации.
• Осаждение проводящих или непроводящих материалов.
• Селективное или улучшенное травление в присутствии различных газов.
• Опционально доступна Mono-GIS система.

Характеристики нано манипуляторов:

• Манипулирование (например, перемещение ламелей для просвечивающей микроскопии).
• Тестирование материалов.
• Инструменты для обработки.
• Нанозондирование и тестирование.

Варианты исполнения LYRA 3 FEG - модель с рабочим значением вакуума в камере образцов порядка 10-3 Па используется для исследований токопроводящих образцов и модель для работы при переменном вакууме в камере образцов (вплоть до 150 Па). Сохраняя все преимущества работы в режиме высокого вакуума, при переходе в режим низкого вакуума дополнительно позволяет исследовать непроводящие образцы без предварительного нанесения токопроводящего слоя.

С более подробной информацией о серии сканирующих электронных микроскопах LYRA 3 FEG, Вы можете ознакомиться на сайте компании Tescan  www.tescan.ru/products.

Система для автоматического минералогического анализа TIMA (the TESCAN Integrated Mineral Analyzer) разработанная компанией позволяет выполнять автоматический минералогический анализ или автоматический анализ раскрытий и ассоциаций минералов, оценивать эффективность процессов дробления и обогащения, надёжно диагностировать в образцах зерна редких минералов с драгоценными или с редкоземельными металлами, строить распределения зёрен или частиц по морфологическим признакам.

Уникальность технологии, предложенной TESCAN, заключается в высокой степени интеграции между сканирующим электронным микроскопом (SEM) и энергодисперсионными спектрометрами (EDX), благодаря чему сбор данных, объединяющих в себе электронные изображения и характеристические спектры с каждого пикселя изображения, происходит с беспрецедентно высокой скоростью и в полностью автоматическом режиме. В большой камере образцов находится управляемый с компьютера столик с прецизионным перемещением, в который монтируется специальный держатель для минералогических образцов (до 7 образцов диаметром 30 мм). В центре держателя размещены стандарты для автоматической калибровки энергодисперсионных спектрометров (EDX) и детектора отражённых электронов (BSE). Стандарты включают в себя платиновую ячейку Фарадея (для автоматической настройки уровня BSE-сигнала), Mn, Cu, С, Au, кварц (набор стандартов может быть изменён по запросу пользователя).

Преимущества TIMA:

• Быстрый и полностью автоматический сбор данных, скорость которого обусловлена, прежде всего, глубокой аппаратной интеграцией между сканирующим электронным микроскопом (SEM) и энергодисперсионными спектрометрами (EDX).
• Реализация на базе SEM с вольфрамовым термо-катодом либо с катодом с полевой эмиссией типа Шоттки.
• Съёмные держатели образцов видоизменённого дизайна со встроенными стандартами для калибровки BSE/EDX и с ячейкой Фарадея.
• Возможность монтирования образцов переменного размера.
• На одну систему может быть установлено вплоть до 4-х энергодисперсионных спектрометров (EDX), что позволяет добиться максимальной производительности.
• Применение без азотных EDX спектрометров с охлаждением Пельтье гарантирующих термическую стабильность.
• Улучшенный подход к сбору и обработке данных повышает скорость и надёжность анализа.
• Варьируемая длительность сбора спектра с каждого пикселя (dwell-time) даёт возможность оптимизировать время анализа каждого минерала.
• Программное обеспечение выпускается в трёх модификациях.
• Модульная схема программного обеспечения.
• Классификационные схемы, настраиваемые пользователем.
• Оптимальное соотношение цены и возможностей.
• Индивидуальная модификация системы «на заказ».

С более подробной информацией о системе для автоматического минералогического анализа TIMA, Вы можете ознакомиться на сайте компании Tescan  www.tescan.ru/products.

Новое поколение двухлучевых сканирующих электронных микроскопов с катодом с полевой эмиссией типа Шоттки и дополнительной ионной колонной разработано с привлечением самых современных технологий, сохраняя наилучшее соотношение цена/возможности - новая улучшенная высокопроизводительная электроника для более быстрого накопления изображений, ультра скоростная сканирующая система с компенсацией статических и динамических аберраций изображения, встроенный язык программирования для создания собственных пользовательских процедур. Великолепное пространственное разрешение электронной колонны даже при высоких плотностях тока пучка электронов, сверхбыстрая скорость травления ионным пучком, а также мощное программное обеспечение превращают двухлучевой микроскоп FERA 3 в великолепный инструмент как для элементного и текстурного микроанализа, так и для многих других применений в различных областях науки и индустрии.

• Катод Шоттки высокой яркости в качестве источников электронов гарантирует накопление изображений с прекрасным пространственным разрешением и с одновременной высокой плотностью тока пучка электронов, благодаря чему достигается высокое отношение «сигнал/шум».
• Уникальная конструкция электронно-оптической колонны с тремя линзами (технология Wide Field Optics™) позволяет использовать оптическую систему в различных режимах: Разрешение, Глубина фокуса, Поле, Широкое поле, Качающийся зонд.
• Замена эффективной финальной апертуры осуществляется с помощью электромагнита – запатентованная промежуточная линза (IML) работает в качестве устройства смены апертуры. Конструкция колонны микроскопа без единого механически центрируемого элемента позволяет автоматизировать все процедуры настройки, включая юстировку и центрирование электронной оптики.
• Запатентованная технология In-Flight Beam TracingTM, интегрированная с выверенным программным модулем Electron Optical Design, служит для вычисления с высокой точностью параметров пучка в реальном времени и оптимизации этих параметров «на лету», что позволяет, в частности, напрямую задавать желаемый диаметр зонда либо ток зонда в непрерывном диапазоне.
• Опциональные SE- и BSE-детекторы, встроенные в полюсный наконечник объективной линзы, расширяют возможности микроскопа по созданию изображений высокого разрешения.
• Все процедуры юстировки и настройки электронной оптики автоматизированы.
• Ультра-высокая скорость сканирования.
• Благодаря передовой технологии 3D Beam Technology оператору доступны уникальные живые стереоскопические изображения, которые открывают изумительный трехмерный микро- и нано-мир для 3D-исследований и 3D-навигации.

Программное обеспечение микроскопа локализовано под много языков (в том числе русский). Каждый оператор имеет один из 4-х возможных уровней доступа, включая уровень EasySEMTM для быстрых рутинных исследований. Все обновления ПО бесплатны.

Два варианта исполнения микроскопа FERA 3, причем каждая в двух модификациях характеризуются непревзойденными оптическими свойствами, немерцающим цифровым изображением превосходного качества, а дружественное программное обеспечение управления микроскопами, накопления и обработки изображений в стандартных форматах сохранения изображений, реализует кроме того - архивирование, обработку и удобный просмотр изображений, проведение измерений на изображении, автоматическую настройку микроскопов и множество других автоматизированных процедур.

Остались вопросы или желаете ознакомиться с более подробной информацией о серии электронных микроскопов FERA 3, обратитесь к нашим менеджерам через страницу Контакты или пройдите на сайт компании Tescan  http://www.tescan.ru/products.

Сканирующий электронный микроскоп MAIA3 (модель 2016 года) обладает ультравысоким разрешением с прекрасными возможностями для получения изображений во всем диапазоне ускоряющих напряжений пучка электронов. Многозадачный набор детекторов совместно с высоким пространственным разрешением позволяют наблюдать мельчайшие детали поверхности образца. Это особенно важно для комплексного описания наноматериалов, для наблюдения образцов, чувствительных к повреждающему воздействию пучка электронов (а подобные образцы распространены в полупроводниковой индустрии), для комфортного изучения непроводящих образцов, включая ненапыленные био-материалы.

Основные преимущества:

• Превосходное разрешение с иммерсионной линзой ультравысокого разрешения (угол раствора конуса иммерсионной линзы 60°). Полностью новая аналитическая линза высокого разрешения для работы в не иммерсионном режиме (так называемом "аналитическом режиме"). Переделанная промежуточная линза для сверхбольших полей обзора.
• Уникальная комбинация режима "crossover-free" и линзы ультравысокого разрешения позволяет получать отличные изображения.
• Традиционная для TESCAN конструкция электронно-оптической колонны с тремя линзами (технология Wide Field Optics™) для реализации нескольких режимов сканирования (Разрешение, расширенная Глубина резкости, Широкое поле обзора и проч.).
• EquiPower™ для превосходной стабильности колонны.
• Новый дизайн электронной пушки с катодом Шоттки теперь позволяет работать при токе электронного пучка вплоть до 400 нА, а также смена ускоряющего напряжения пучка электронов происходит быстро.
• Исследование пластин диаметром вплоть до 12 дюймов, благодаря опции "расширенная камера образцов" и специальным держателям для удобного неповреждающего закрепления пластин.
• Три модификации детектора отраженных электронов TriBE™ для сбора BSE-сигнала с селекцией по углу. Детекторы Mid-Angle BSE и In-Beam LE-BSE локализованы внутри колонны и регистрируют отраженные электроны, рассеянные на небольшие углы и распространяющиеся вдоль оси колонны, соответственно. Детектор In-Chamber BSE собирает BSE-электроны, отраженные на большие углы. При совместном использовании эти три детектора отраженных электронов позволяют получать контрастные изображения в ситуациях с разными закономерностями формирования контраста. Также возможно детектирование сигнала при работе с пучком электронов сверх-малой энергии, вплоть до 200 эВ.
• Три модификации детектора вторичных электронов TriSE™ разработаны, чтобы оптимально собирать сигнал вторичных электронов при любых рабочих расстояниях и при любых режимах работы электронной колонны. Детектор In-Beam SE внутри колонны позволяет детектировать SE-электроны при работе с очень малыми рабочими расстояниями. SE-детектор для режима торможения пучка (BMD) демонстрирует превосходное разрешение в режиме BDM. In-Chamber SE детектор обеспечивает превосходный топографический контраст.
• Режим торможения пучка электронов (BDM) для сохранения превосходного пространственного разрешения при очень низких энергиях первичного пучка (вплоть до 50 эВ).
• Технология In-Flight Beam Tracing™ для определения и оптимизации параметров пучка электронов в реальном времени (идет непрерывный мониторинг таких параметров, как диаметр пучка и ток пучка). Расширенный режим низкого вакуума с давлением в камере до 500 Па для изучения непроводящих образцов без какого-либо напыления.

MAIA 3 (модель 2016 года) —идеальный выбор для исследований непроводящих и деградирующих под электронным пучком образцов (все типы биологических образцов в их естественном состоянии). Этот сканирующий электронный микроскоп удовлетворяет возросшим требованиям во всех сферах науки и технологий, обеспечивая исследователей высококачественными изображениями при низких энергиях пучка электронов и эффективно применяется в материаловедении, полупроводниках, оптоэлектронике, гелиотехнике, литографии и науках о живом

Остались вопросы или желаете ознакомиться с более подробной информацией об электронных микроскопах MAIA 3 (модель 2016 года), обратитесь к нашим менеджерам через страницу Контакты или пройдите на сайт компании Tescan по ссылке http://www.tescan.ru/products.

FIBLYS — уникальный комплекс для мульти наноисследований, разработанный ведущими европейскими институтами совместно с производителями аналитического оборудования. Проект FIBLYS был представлен в сентябре 2010 г. и включает в себя современные методики создания наноструктур, исследования и модификации поверхности, такие как: SEM - сканирующий электронный микроскоп, FIB - сфокусированный ионный пучок, AFM - атомно-силовой микроскоп, TOF - времяпролетный масс-спектрометр, EDS - энергодисперсионный спектрометр, EBSD - детектор дифракции отраженных электронов. FIBLYS оснащен высокоточным столиком образцов, манипуляторами, системой локальной подачи газа и большим набором детекторов, что позволяет проводить уникальные исследования, определять состав и структуру материалов, создавать и тестировать объекты на основе наноструктур и модифицировать поверхность.

TESCAN EasyProbe позволяет применять его как в образовательных учреждениях, так и в производственных лабораториях. Электронные микроскопы с камерами для сверх больших образцов или с уникальной геометрией детекторов разрабатываются для решения нестандартных задач. Нестандартные фланцы или стенки камер могут быть разработаны и изготовлены при необходимости установки специализированных детекторов других производителей.

Мультимодальный голографический микроскоп Q-PHASE. C этим инструментом TESCAN вступает в новую для него область передовой оптической микроскопии. Q-PHASE является уникальным инструментом для количественного фазового анализа (QPI), основанным на запатентованной технологии голографической микроскопии с контролем когерентности излучения. Этот метод использует обычные некогерентные источники излучения (галогеновые лампы, светодиоды), обеспечивая QPI самого высокого качества без каких-либо ограничений. К тому же Q-Phase - это единственный на сегодня микроскоп, который реализует метод QPI в мутных (оптически непрозрачных) средах. Микроскоп Q-PHASE создан специально для наблюдения живых клеток вне организма. Метод основан на надежной платформе инвертированного просвечивающего микроскопа. Вся система помещена в инкубатор для контроля температуры и других параметров среды. Полностью моторизованная система удовлетворяет даже самым высоким требованиям в области автоматизации эксперимента.

VEGA EasyProbe – сканирующий электронный микроскоп с полностью интегрированной системой рентгеновского энергодисперсионного микроанализа (ЭДС). Панель инструментов микроанализа One-Touch EDX, встроенная в интерфейс управления микроскопа, позволяет одним касанием выводить результаты количественного анализа элементного состава непосредственно на «живое» изображение электронного микроскопа. Компактное и легко транспортируемое исполнение электронного микроскопа

Остались вопросы или желаете ознакомиться с более подробной информацией о специальных разработках фирмы Tescan, обратитесь к нашим менеджерам через страницу Контакты или пройдите на сайт компании по ссылке http://www.tescan.ru/products.