8 727 250 29 69

tech_info@nanolab.kz logos@nanolab.kz

Главная ПартнерыОБОРУДОВАНИЕ И ПРИБОРЫ КОМПАНИИ ВСЭВакуумное оборудование для образования

Вакуумное оборудование для образования



 

Настольная вакуумная установка VSE-PVD-DESK-PRO (ВСЭ)


Установка разработана для отработки технологий нанесения покрытий и проведения научных исследований в области материаловедения, приборостроения, электроники, нанесения оптических покрытий, микромеханических устройств (MEMS) и др. методом магнетронного напыления металлических и диэлектрических покрытий на твёрдые и дисперсные образцы.

  • Отличительные особенности установки:

  • Полностью безмасляная откачка;

  • Визуальный контроль процесса осаждения покрытий;

  • Измерение скорости осаждения, толщины покрытия и ресурса кристалла кварцевыми микровесами с пневматической заслонкой;

  • Минимизация диаметра нераспыляемой центральной части магнетрона;

  • Возможность установки дополнительного магнетрона и ионного источника;

  • Простота использования и высокое качество получаемых покрытий;

  • Высокая повторяемость результатов с заданными свойствами.

Система управления обеспечивает управление откачкой, потоками газов, электромагнитными клапанами, шаговым двигателем и технологическими источниками питания. В устройстве предусмотрены системы блокировок по потоку воды и допустимому вакууму. Опциально реализованы - подача газа непосредственно через магнетрон и нагрев подложкодержателя. Интеллектуальный интерфейс и наличие цветного сенсорного экрана позволяют легко и комфортно управлять рабочим процессом.

Основные технические характеристики:

  • Предельное остаточное давление - 10-7 мБар;

  • Скорость осаждения в зависимости от типа напыляемого материала - до 7,5 Å/сек;

  • Мощность разряда - до 1,5 кВт;

  • Однородность наносимых покрытий - ±10 %;

  • Широкий диапазон плавного регулирования выходной средней мощности - от 0,1 до 3 кВт;

  • Точность позиционирования подложки - до 0,5 мм;

  • Одновременная загрузка 4-х подложек d = 90 мм или 6-ти подложек d = 70 мм;

  • Варьируемая толщина покрытий - от 10-8 м до 10-6 м;

  • Регулировка высоты расположения мишени относительно магнетрона;

  • Масса – 87 кг;

  • Размеры установки (ДхШхВ) – 1050х700х670 мм.

Оптимальное соотношение цена/качество для установок этого класса даёт возможность использовать его в учебном процессе образовательных учреждений, реализующих инновационные программы естественно-научного и инженерного направлений.

Установка по облучению ВУФ образцов в вакууме (ВСЭ)


Настольная установка «VSE-UV.c» предназначена для изучения влияния вакуумного ультрафиолетового излучения на различные материалы, в т.ч. для имитации космического излучения. В качестве источников ионизирующего излучения могут использоваться Ar2 эксимерная лампа (126 нм), Kr2 эксимерная лампа (146 нм), Xe2 эксимерная лампа (172 нм), а также дейтериевая лампа (113-165 нм – многолинейчатый спектр, 165-380 нм – сплошной спектр излучения).

Установка состоит из следующих частей: 

  • вакуумная камера; 

  • площадка для размещения образцов (термостатированный столик); 

  • источник ВУФ-излучения с системой питания; вакуумный насос; вакуумный датчик; комплект вакуумной арматуры; 

  • система нагрева/охлаждения.

Вакуумная камера изготовлена из нержавеющей стали с внутренним диаметром 300 и высотой 170 мм. Фланцы выполнены по современным международным стандартам. Сверху вакуумной камеры расположен фланец стандарта ISO 320, на котором размещаются источники ВУФ-излучения. Также на верхнем фланце со стороны вакуума предусмотрены крепления для малогабаритных источников других видов ионизирующих излучений (например, позволяющие установить в дальнейшем источники β-излучения). Камера оснащена смотровым окном из боросиликатного стекла, размещенным на стандартном фланце KF40, а также вакуумным термопарным вводом для подключения термопар К-типа, для прецизионного измерения температуры. Верхний фланец камеры установлен на прочном кронштейне, позволяющем подъем фланца и отвод его в сторону для удобства смены образцов. Конструкция кронштейна препятствует опрокидыванию камеры. Допускается размещение камеры на столе.

Площадка для размещения образцов находится в камере и обеспечивает размещение 12 образцов диаметром 30 мм с опциональной возможностью эффективного равномерного охлаждения (до температуры жидкого азота) или нагрева (до 150 0С). В зависимости от необходимой температуры система может содержать циркуляционный криостат с внешним контуром, объем с заливкой жидкого азота или омический нагреватель. Площадка размещается в вакуумной камере с тепловой развязкой и присоединена вакуумными фитингами, которые предусматривают возможность ее быстрого и легкого извлечения. Площадка имеет термопару для осуществления контроля температуры.

Источник ВУФ-излучения состоит из специально сконструированной матрицы, включающей 4 излучательных блока с необходимой длиной волны по 3 лампы в каждом, с источниками питания. Лампы закреплены в сборке из двух металлических пластин, выполняющих функцию электродов (электродная сборка). Каждая из ламп вакуумно уплотняется на верхнем фланце вакуумной камеры, образуя матрицу. Выходные окна ламп находятся в вакууме, без промежуточных окон. При этом пользователь может регулировать расстояние от выходного окна лампы до образца.

При заказе возможно выбрать режим облучения/спектр излучения, а именно:

  1. Облучение образцов одной длиной волны всеми 12-ю лампами;

  2. Одновременное или поочередное облучение всех образцов секторами с разной длиной волны (сборка из 3 ламп имеет одну длину волны).

  3. Одновременное или поочередное облучение 4-х групп образцов своей длиной волны (группы образцов разделены экранами). Экраны защищают образцы от излучения с соседних секторов.

Источник ВУФ-излучения оснащен устройством принудительной канальной вентиляции VKK-125 для удаления образующегося озона и охлаждения ламп. Система питания позволяет включать каждый блок независимо.

 

Обширный перечень оборудования других производителей, поставщиком которого является ВСЭ, представлен на сайте компании http://www.vacuumel.ru/

Информацию о приборах и оборудовании аналогичного назначения других производителей, Вы можете узнать, задав свои вопросы нашим менеджерам по электронной почте, телефону, факсу или непосредственно в офисе.

Системные и комплексные

решения для образования, науки и промышленности

Аналитическое и лабораторное

оборудование для макро, микро и нано исследований

▲ Наверх