Вакуумное оборудование для образования

Установка разработана для отработки технологий нанесения покрытий. Успешно применяется для проведения научных исследований в области материаловедения, приборостроения, электроники, нанесения оптических покрытий, микромеханических устройств (MEMS) методом магнетронного напыления металлических и диэлектрических покрытий на твёрдые и дисперсные образцы. Может с успехом использоваться в университетских курсах МЕТОДЫ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ.

Отличительные особенности установки:

• полностью безмасляная откачка;

• визуальный контроль процесса осаждения покрытий;

• измерение скорости осаждения, толщины покрытия и ресурса кристалла кварцевыми микровесами с пневматической заслонкой;

• минимизация диаметра нераспыляемой центральной части магнетрона;

• возможность установки дополнительного магнетрона и ионного источника;

• простота использования и высокое качество получаемых покрытий;

• высокая повторяемость результатов с заданными свойствами.

Настольная установка «VSE-UV.c» предназначена для изучения влияния вакуумного ультрафиолетового излучения на различные материалы, в т.ч. для имитации космического излучения. Небольшие размеры и относительно невысокая цена позволяют использовать в образовательном процессе естественнонаучного цикла, например, физиков, химиков, биологов и др. Установка состоит из следующих частей: вакуумная камера; площадка для размещения образцов (термостатированный столик); источник ВУФ-излучения с системой питания; вакуумный насос; вакуумный датчик; комплект вакуумной арматуры; система нагрева/охлаждения. В качестве источников ионизирующего излучения могут использоваться Ar₂ эксимерная лампа (126 нм), Kr₂ эксимерная лампа (146 нм), Xe₂ эксимерная лампа (172 нм), а также дейтериевая лампа (113-165 нм – многолинейчатый спектр, 165-380 нм – сплошной спектр излучения). Допускается размещение камеры на столе.