Электронные микроскопы и аксессуары для нанотехнологий

Сканирующие электронные микроскопы позволяют получать изображения с большим увеличением и высоким разрешением. Это хорошо известный неразрушающий метод, который использует электронно-лучевой зонд для анализа поверхности образцов вплоть до наноразмерных размеров, что делает его подходящими инструментами для широкого спектра применений во многих областях науки и промышленности.

Фирма предлагает 7 моделей микроскопов:

VEGA аналитический SEM для определения характеристик материалов, исследований и контроля качества в микронном масштабе: с большой или маленькой камерой, расширенными функциями ручного или моторизованного манипулятора, работающий в высоком вакууме или с переменным изменением давления, позволяя проводить исследование проводящих и непроводящих материалов.

VEGA COMPACT производительный аналитический SEM начального уровня и является компактным вариантом исполнения микроскопа VEGA. Благодаря компактной и упрощенной конфигурации, в которой оптимизированы функции обработки изображений и анализа состава, микроскоп становится экономически эффективным решением для лабораторий, где приоритетом является понимание основных отличительных особенностей образцов.

MIRA аналитическая SEM-система четвертого поколения с высокой яркостью излучателя Шоттки с высоким разрешением при определении характеристик материалов, исследований и контроля качества в субмикронном масштабе, имея большую камеру и моторизованный манипулятор и функционирующая в высоком вакууме или с переменным изменением давления при исследования проводящих и непроводящих образцов с экстраординарным качеством отображения.

CLARA бесконтактный неиммерсионный аналитический SEM для определения характеристик материалов на наноуровне использующий технологию BrightBeam™, при которой объективная линза сочетает в себе магнитную и электростатическую линзы, что позволяет получать изображения с ультравысоким разрешением при низких ускоряющих напряжениях и при отсутствии вокруг образца магнитных полей, благодаря чему нет ограничений на свойства образца, включая магнитные.

MAGNA инструмент получения изображений с ультравысоким разрешением для наблюдений поверхностных свойств наноматериалов. Прибор оснащён электронной колонной Triglav™, комбинирующей в себе иммерсионную оптику и режим crossover-free, что даёт особенный выигрыш в пространственном разрешении именно при низких энергиях первичного электронного пучка. Режим crossover-free —режим, в котором нет уширения электронного пучка из-за эффекта расталкивания пространственного заряда, так как по ходу движения пучка нет кроссовера. Колонна Triglav™ включает в себя уникальную систему детектирования, встроенную внутрь электронной колонны, с селекцией обратно отражённых электронов (BSE) как по энергиям, так и по углам разлёта, что улучшает композиционный контраст и, в частности, позволяет получать изображения с композиционным контрастом от самых тонких приповерхностных слоёв образца.

TIMA специализированное решение для автоматизированного минералогического анализа, при исследованиях в области наук о Земле, а также при промышленной переработке полезных ископаемых. Модель четвертоого поколения, которая отличается повышенной простотой использования и обеспечивает сверхбыстрый анализ, позволяющий ускорить получение достоверных и воспроизводимых данных. Для увеличения производительности одновременно работают до четырех детекторов EDS, в то время как уникальный высокочувствительный алгоритм спектрального суммирования обеспечивает точную количественную оценку элементов с низким содержанием. Данные TIMA легко сопоставляются с другими методами определения характеристик минералов.

VOLUME SEM универсальный микроскоп для 2D и 3D определения характеристик биологических образцов. Методы объемной SEM позволяют получить представление о биологическом материале в высоком разрешении, что позволяет исследователям всесторонне понять внутреннюю структуру и функционирование биологических систем в 3D. Возможности 2D-визуализации практически любого SEM могут быть расширены до 3-го измерения с помощью специализированного программного или аппаратного обеспечения. Образцы, предварительно разделенные на срезы и собранные на подложке в виде массива последовательных срезов, могут быть автоматически отсканированы с помощью прибора для получения 3D-стопки изображений. Этот метод позволяет выполнять повторное сканирование и в любое время возвращаться к дополнительным областям, представляющим интерес.

С более подробной информацией о cканирующих электронных микроскопах SEM TESCAN, Вы можете созвонившись по телефону 7-727-250-29-69 c нашими менеджерами.

Конфигурация в системах FIB-SEM такова, что точки фокусировки электронного и ионного пучков совпадают, что приводит к оптимизации многих приложений. Фирма предлагает два различных вида ионов в качестве источника для FIB: ионы галлия и ионную плазму Xe. Источник ионов Ga FIB предназначен для всех тех применений, где требуется высочайшая точность изготовления и нанопаттернирования. С другой стороны, системы Xe FIB обеспечивают высокие токи ионного пучка, что позволяет удалять большие объемы материала за временные рамки, которые могут быть до 50 раз короче по сравнению с системами Ga и позволяют получить разрешение < 15 нм для тех задач, где требуются сочетание мощности и точности. Двухлучевые сканирующие электронные микроскопы TESCAN предлагает в виде 4 моделей:

AMBER микроскоп FIB-SEM c ионной колонной на основе жидкометаллического источника ионов Ga+ и неиммерсионной электронной колонной с ультравысоким разрешением. Встроенные в колонну детекторы вторичных и обратно отражённых электронов оптимизированы для получения высококачественных изображений в точке пересечения пучков FIB и SEM. Запатентованная геометрия камеры AMBER обладает значительным аналитическим потенциалом для размещения в камере микроскопа детекторов для микроанализа, которые позволяют проводить как мультимодальный анализ поверхности образцов, так и распространить все виды микроанализа на 3D-томографию в наномасштабе.

AMBER X универсальный наноаналитический FIB-SEM с плазменной пушкой в качестве источника ионов Xe+ и неиммерсионной электронной колонной с ультравысоким разрешением. Прибор позволяет быстро создавать поперечные сечения большой площади (вплоть до ширины 1 мм), а также изготавливать поперечные сечения обычных (небольших) размеров и проводить их полировку. Инертная природа ионов ксенона Xe+ позволяет без артефактов подготовить ионный пучок к исследованию таких материалов, как, например, алюминий, без риска, что микроструктурные или механические свойства этих материалов под воздействием пучка ионов будут видоизменены. Ионы Xe+ создают минимальные повреждения образца и имеют значительно меньшую степень имплантации по сравнению с ионами Ga+.

SOLARIS сочетает в себе прецизионную ионную колонну и электронную колонну с ультравысоким разрешением и иммерсионной оптикой TriLens™, что позволяет выполнять лабораторную модификацию материалов с помощью сфокусированного ионного пучка FIB и получать SEM -изображения с ультравысоким разрешением. Ионная колонна Orage™ с галлиевым ионным пучком удовлетворяет самые строгие требования к пробоподготовке с помощью сфокусированного ионного пучка и с помощью программного модуля TESCAN DrawBeam™ и опциональных модулей облегчают выполнение рутинных задач, таких как подготовка ламелей или создание массивов структур. Электронная колонна Triglav™, сочетающей в себе уникальную комбинацию иммерсионной оптики и режима crossover-free для получения изображений с ультравысоким разрешением во всем диапазоне энергий электронного пучка. Внутрь электронной колонны встроены детекторы вторичных и обратно отраженных электронов и может быть оснащена большим количеством других детекторов и аналитических аксессуаров.

SOLARIS X расширяет возможности FIB-анализа физических отказов корпусированных микроэлектромеханических и оптоэлектронных устройств благодаря мощной плазменной ионной пушке i-FIB+™ Xe, с современным поколением иммерсионной электронной колонны Triglav™, оснащенной трёхлинзовым объективом TriLens™. Инертная природа ионов Xe+ предотвращает образование интерметаллических соединений с материалом образца. Электронная колонна Triglav™, в которой используется запатентованный объектив TriLens™, состоящий из трех линз. Неиммерсионный аналитический режим работы микроскопа позволяет получать SEM -изображения с высоким разрешением, проводить мониторинг FIB-операций в реальном времени и иметь широкое поле обзора для бесшовной, быстрой и простой навигации по образцу. 

С более подробной информацией о серии сканирующих электронных микроскопах FIB-SEM, Вы можете созвонившись по телефону 7-727-250-29-69 c нашими менеджерами.

Первый 4D-сканирующий просвечивающий электронный микроскоп 4D-STEM прибор последнего поколения для обеспечения совершенно нового уровня производительности и пользовательского опыта. TENSOR разработан для удовлетворения потребностей всех, кто интересуется приложениями для определения мультимодальных наноструктурных характеристик (морфологических, химических и структурных), включая материаловедов, инженеров по исследованиям и разработкам полупроводников, анализу отказов (FA) и кристаллографов. Ранее использование электронных микроскопов при исследовании веществ на атомарном уровне имело существенные технические ограничения при изучения веществ имеющих только прочную атомарную решетку. Условно мягкие вещества могли быть разрушены электронными лучами и для их изучения использовали рентгеновские установки. Нестандартный подход, реализованный в TENSOR полностью меняет условия для изучения атомарной структуры материалов, а анализ с применением 4D-STEM методологии позволяет выявить слабые места в материале, которые могут привести к разрушению или деформации. Для анализа становится возможным использовать даже материалы сверхчувствительные к внешнему воздействию. Для каждого пикселя в наборе данных, TENSOR быстро и идеально синхронизирует дифракционную картину и спектр EDS. Вместе данные дифракции и спектроскопии позволяют создать полную картину взаимодействия электронного пучка с образцом, на основании которой может быть получен широкий спектр свойств материала.

Остались вопросы или желаете ознакомиться с более подробной информацией об электронных микроскопах 4D-STEM TENSOR TESCAN, обратитесь к нашим менеджерам через страницу Контакты .

Фирма предлагает обширный список позиций дооснащения основного оборудования и расширяющего возможности исследователей.

Аналитическое оборудование - Essence EDS выполняет анализ элементного состава в реальном времени в активном окне сканирования SEM и является полностью интегрированным энергодисперсионным спектрометром с размером кристалла ЭДС-детектора 30 мм²; Ultim Extreme разработан для анализа наноструктур со сверхвысоким пространственным разрешением и предназначен для исследований при малых ускоряющих напряжениях от 1 до 7кэВ и пространственным разрешением до 10 нм для массивных образцов; Ultim MAX детектор SDD нового поколения обеспечивает возможность наблюдать распределение элементов в образце в реальном времени – в процессе его движения и просмотре при выборе участка для более детальных исследований; INCA Wave волнодисперсионный рентгеновский спектрометр (ВДС); INCA Energy+ входит в комплект при единовременной поставке двух спектрометров и позволяет выбирать тип спектрометра для каждого элемента, что существенно повышает производительность анализа; Nenovision LiteScopeTM модуль для сканирующей зондовой микроскопии, интегрируемый в камеру сканирующего электронного микроскопа, с помощью данной методики изображение заданного участка поверхности образца может быть получено одновременно в SEM и SPM режимах в общей системе координат с реализацией широкого спектр режимов зондового сканирования (AFM, EFM, MFM, STM).

Детекторы представлены оригинальными устройствами - детектор SE конструкции типа Эверхардта-Торнлей вторичных электронов для получения изображений с топографическим контрастом; детектор BSE отраженных электронов для получения изображения с информацией о вариациях состава на основе контраста по среднему атомному номеру и обладают низким уровнем шума, не чувствительны к вторичным электронам и имеют высокое быстродействие; детектор R-STEM прошедших электронов позволяет проводить анализ тонких пленок и ламелей с высокой разрешающей способностью; детектор SITD вторичных ионов сцинтилляционного типа расширяет аналитические возможности двулучевых микроскопов TESCAN FIB-SEM и позволяет регистрировать положительные вторичные ионы (SI), генерируемые первичным ионным пучком.

Сопутствующее оборудование представлено напылительными установками, приборами микромеханической обработки и ионной полировки, устройствами сушки в критической точке, системами измерения и подавления ЭМ.

Остались вопросы или желаете ознакомиться с более подробной информацией о приборах и детекторах, обратитесь к нашим менеджерам через страницу Контакты .

 

Целью компании TESCAN с момента ее возникновения является обеспечение пользователей такими программными решениями, которые будут интуитивно понятны и удобны как для профессионалов, так и для операторов с минимальным опытом. Устройства всех типов оснащены новым программным обеспечением, которое является еще более дружественным, прозрачным и интуитивно понятным. Программное обеспечение имеет модульную архитектуру программных блоков, обеспечивая расширение возможностей при работе на поставляемом оборудовании и приборах, для различных целей.

Основные особенности ПО:

• многопользовательская среда с несколькими уровнями доступа;

• поддержка нескольких языков, включая русский;

• система поддержки стандартных форматов изображений (TIFF, BMP, JPEG, JPEG2000, PNG, GIF, PGM, PPM) и систематизации изображений с возможностью поиска изображений;

• генератор отчетов с экспортом в различные форматы (MS Word, Open Office, PDF);

• подробный on-line help и исследовательская работа на профессиональном уровне – получение изображения с глубиной градаций серого 8 bit или 16 bit;

• программные модули оптимизированы для различных целей - Атлас представляет собой off line-приложение для систематизации, обработки и архивирования изображений, полученных микроскопом TESCAN, так и снимков с другого оборудования; Анализ частиц реализован в двух версиях — Basic и Advanced; модули EasyEDX предназначены для гибкой интеграции всех моделей SEM с детекторами стороннего производителя; модули 3D Томография используются для автоматизированного сбора трехмерных данных и реконструкции объемной структуры и накопления анаглифных изображений; AutoSlicer модуль для двух-лучевых систем TESCAN FIB-SEM; пакет Корреляционной микроскопии обеспечивает удобную совместную работу на сканирующем электронном микроскопе и на оптическом микроскопе.

Этими аксессуарами не ограничивается большой перечень других оригинальных разработок TESCAN. Если желаете ознакомиться с более подробной информацией об аксессуарах фирмы, обратитесь к нашим менеджерам через страницу Контакты.