Анализ элементного состава доступен в реальном времени в окне сканирования сканирующих электронных микроскопов фирмы с программным обеспечением Essence™ и использованием полностью интегрированного энергодисперсионного спектрометра Essence EDS. Характеристики спектрометра - режимы сбора данных: спектр из области, очередь из спектров (Point &ID) или элементное картирование и профилирование; размер кристалла EDS - детектора 30 мм2, окно из нитрида кремния Si3N4; спектральное разрешение 129 эВ на линии Mn Kα; количество вариантов настройки обработки импульсов 3; максимальная входная скорость счета до 1 000 000 имп/сек; максимальная выходная скорость счета до 300 000 имп/сек; количественный анализ безэталонный с ZAF-коррекцией.