Оборудование для образовательных программ, научных исследований и технологических процессов
Двухлучевые сканирующие электронные микроскопы FIB-SEM (TESCAN)
Конфигурация в системах FIB-SEM такова, что точки фокусировки электронного и ионного пучков совпадают, что приводит к оптимизации многих приложений. Фирма предлагает два различных вида ионов в качестве источника для FIB: ионы галлия и ионную плазму Xe. Источник ионов Ga FIB предназначен для всех тех применений, где требуется высочайшая точность изготовления и нанопаттернирования. С другой стороны, системы Xe FIB обеспечивают высокие токи ионного пучка, что позволяет удалять большие объемы материала за временные рамки, которые могут быть до 50 раз короче по сравнению с системами Ga и позволяют получить разрешение < 15 нм для тех задач, где требуются сочетание мощности и точности. Двухлучевые сканирующие электронные микроскопы TESCAN предлагает в виде 4 моделей:
AMBER микроскоп FIB-SEM c ионной колонной на основе жидкометаллического источника ионов Ga+ и неиммерсионной электронной колонной с ультравысоким разрешением. Встроенные в колонну детекторы вторичных и обратно отражённых электронов оптимизированы для получения высококачественных изображений в точке пересечения пучков FIB и SEM. Запатентованная геометрия камеры AMBER обладает значительным аналитическим потенциалом для размещения в камере микроскопа детекторов для микроанализа, которые позволяют проводить как мультимодальный анализ поверхности образцов, так и распространить все виды микроанализа на 3D-томографию в наномасштабе.
AMBER X универсальный наноаналитический FIB-SEM с плазменной пушкой в качестве источника ионов Xe+ и неиммерсионной электронной колонной с ультравысоким разрешением. Прибор позволяет быстро создавать поперечные сечения большой площади (вплоть до ширины 1 мм), а также изготавливать поперечные сечения обычных (небольших) размеров и проводить их полировку. Инертная природа ионов ксенона Xe+ позволяет без артефактов подготовить ионный пучок к исследованию таких материалов, как, например, алюминий, без риска, что микроструктурные или механические свойства этих материалов под воздействием пучка ионов будут видоизменены. Ионы Xe+ создают минимальные повреждения образца и имеют значительно меньшую степень имплантации по сравнению с ионами Ga+.
SOLARIS сочетает в себе прецизионную ионную колонну и электронную колонну с ультравысоким разрешением и иммерсионной оптикой TriLens™, что позволяет выполнять лабораторную модификацию материалов с помощью сфокусированного ионного пучка FIB и получать SEM -изображения с ультравысоким разрешением. Ионная колонна Orage™ с галлиевым ионным пучком удовлетворяет самые строгие требования к пробоподготовке с помощью сфокусированного ионного пучка и с помощью программного модуля TESCAN DrawBeam™ и опциональных модулей облегчают выполнение рутинных задач, таких как подготовка ламелей или создание массивов структур. Электронная колонна Triglav™, сочетающей в себе уникальную комбинацию иммерсионной оптики и режима crossover-free для получения изображений с ультравысоким разрешением во всем диапазоне энергий электронного пучка. Внутрь электронной колонны встроены детекторы вторичных и обратно отраженных электронов и может быть оснащена большим количеством других детекторов и аналитических аксессуаров.
SOLARIS X расширяет возможности FIB-анализа физических отказов корпусированных микроэлектромеханических и оптоэлектронных устройств благодаря мощной плазменной ионной пушке i-FIB+™ Xe, с современным поколением иммерсионной электронной колонны Triglav™, оснащенной трёхлинзовым объективом TriLens™. Инертная природа ионов Xe+ предотвращает образование интерметаллических соединений с материалом образца. Электронная колонна Triglav™, в которой используется запатентованный объектив TriLens™, состоящий из трех линз. Неиммерсионный аналитический режим работы микроскопа позволяет получать SEM -изображения с высоким разрешением, проводить мониторинг FIB-операций в реальном времени и иметь широкое поле обзора для бесшовной, быстрой и простой навигации по образцу.
С более подробной информацией о серии сканирующих электронных микроскопах FIB-SEM, Вы можете созвонившись по телефону 7-727-250-29-69 c нашими менеджерами.
