Оборудование для образовательных программ, научных исследований и технологических процессов

Вакуумные установки (ВТО)

Вакуумные установки, предлагаемые ВТО, представлены обширным списком систем собственного производства и установками ведущих зарубежных фирм - СНА Industries, Torr International, Picosun, SVTA, SAMCO, Protech Materials, Turmoil, IBS, FirstNano:

• вакуумные установки термического и магнетронного напыления материалов VSE-PVD-LTE, VSE-PVD-100, VSE-PVD-Powder, VSE-PVD-DESK-PRO, VSE Thermo Optic, VSE-TERMO-5, VSE-PVD-75-B;

• установки осаждения серий VSE-PVD-OLED, VSE PECVD 100, VSE High Energy Beams, MARK, Solution, PDL, PICOSUN серий P и R, Torr International

• установки молекулярно-лучевой эпитаксии;

• установки травления серии RIE;

• мишени керамического и вакуумного напыления;

• водяные циркуляционные охладители замкнутого цикла;

• имплантеры IMC200P и PIII;

• системы очистки ультрафиолетом и/или озоном серии UV;

• установки синтеза углеродных нанотрубок серии EasyTube;

• установка по нанесению покрытий из благородных металлов на объемные изделия;

• универсальная вакуумная ячейка «VSE-RT-900»;

• вакуумные сушильные установки VSE-Pro-Dry;

• электронные пушки, работающие в режиме постоянного тока;

• источники протонов VSE IGUN 50 и электронов VSE EGUN 50;

• установка для термовакуумных испытаний образцов;

• модуль для исследований физических процессов пробоя вакуумного промежутка;

• установка для измерения коэффициента вторичной электронной эмиссии VSE SEE.