Оборудование для образовательных программ, научных исследований и технологических процессов
Вакуумные установки (ВТО)
Вакуумные установки, предлагаемые ВТО, представлены обширным списком систем собственного производства и установками ведущих зарубежных фирм - СНА Industries, Torr International, Picosun, SVTA, SAMCO, Protech Materials, Turmoil, IBS, FirstNano:
-
вакуумные установки термического и магнетронного напыления материалов VSE-PVD-LTE, VSE-PVD-100, VSE-PVD-Powder, VSE-PVD-DESK-PRO, VSE Thermo Optic, VSE-TERMO-5, VSE-PVD-75-B;
-
установки осаждения серий VSE-PVD-OLED, VSE PECVD 100, VSE High Energy Beams, MARK, Solution, PDL, PICOSUN серий P и R, Torr International;
-
установки молекулярно-лучевой эпитаксии;
-
установки травления серии RIE;
-
мишени керамического и вакуумного напыления;
-
водяные циркуляционные охладители замкнутого цикла;
-
имплантеры IMC200P и PIII;
-
системы очистки ультрафиолетом и/или озоном серии UV;
-
установки синтеза углеродных нанотрубок серии EasyTube;
-
установка по нанесению покрытий из благородных металлов на объемные изделия;
-
универсальная вакуумная ячейка «VSE-RT-900»;
-
вакуумные сушильные установки VSE-Pro-Dry;
-
электронные пушки, работающие в режиме постоянного тока;
-
источники протонов VSE IGUN 50 и электронов VSE EGUN 50;
-
установка для термовакуумных испытаний образцов;
-
модуль для исследований физических процессов пробоя вакуумного промежутка;
- установка для измерения коэффициента вторичной электронной эмиссии VSE SEE.
