+7 727 250 2969

tech_info@nanolab.kz logos@nanolab.kz

Главная ПартнерыКОРПОРАЦИЯ RIGAKUРентгеновские специализированные приборы

Партнерские программы для образования, науки и промышленности

Специализированные модели и приборы (Rigaku)


Приборы метрологии поверхностного загрязненияRigaku является пионером в разработке и производстве измерительных приборов на основе рентгеновского излучения для решения задач производства полупроводников. Семейства продуктов этой категории позволяют выполнять все: от метрологии управления производственными процессами до исследований и разработок при определении характеристик тонких пленок и материалов. Метрологические инструменты XRF, XRD и XRR служат для измерения критических технологических параметров, таких как тонкая пленка: толщина, состав, шероховатость, плотность, пористость и кристаллическая структура, а технологические TXRF и VPD-TXRF инструменты используются для измерения загрязнения.

Анализ TXRF может определять загрязнение во всех производственных процессах, включая очистку, литье, травление, золение, пленки и т.д. Фирмой предлагается серия приборов метрологии поверхностного загрязнения - TXRF 3760, TXRF 3800e, TXRF310Fab и TXRF-V310.

Модель WaferX 310 представляет собой кульминацию 35-летнего опыта в рентгенофлуоресцентном анализе тонких пленок на кремниевых пластинах. Специально разработанная как инструмент для метрологии в процессе производства, система включает в себя технологию "bridge tool" — для обслуживания 6-дюймовых, 8-дюймовых, а также новейших 12-дюймовых пластин.

Рентгенофлуоресцентный спектрометр WDA-3650 для анализа тонких пленок - новейший инструмент рентгеновской метрологии вносит значительный вклад в технологический контроль толщины металлической пленки, состава пленки и концентрации элементов благодаря новым функциям и дизайну с низким уровнем шума.

Приборы контроля качества – большое семейство спектрометров, ориентированных на решение проблем контроля качества продукции. Среди этой линейки приборов, отметим NEX QC, NEX QC+ и NEX QC+QuantEZ, представляющие собой высококачественные недорогие энергодисперсионные рентгенофлуоресцентные (EDXRF) элементные анализаторы, которые обеспечивают широкий элементарный охват с помощью простого в освоении программного обеспечения QuantEZ и реализуют неразрушающий анализ от натрия (Na) до урана (U) практически в любой матрице, от твердых веществ и сплавов до порошков, жидкостей и суспензий. 

Сканирующие многоэлементные анализаторы третьего поколения NEX LS и NEX OL обеспечивают превосходную аналитическую производительность и надежность, измерительная головка EDXRF создана на основе настольных приборов высокого разрешения второго поколения. Благодаря проверенной технологии эти приборы обеспечивают быстрый, неразрушающий многоэлементный анализ - на вес покрытия, толщину покрытия и/или состав — для элементов от алюминия (Al) до урана (U).

Уникальный рентгенофлуоресцентный спектрометр AZX 400 с последовательной дисперсией длин волн (WDXRF) специально разработан для обработки очень больших и/или тяжелых образцов диаметром до 400 мм, толщиной 50 мм и массой 30 кг, эта система идеально подходит для анализа распыляемых мишеней, магнитных дисков или для метрологии многослойных пленок или элементного анализа больших образцов.

Комбинированные модели MFM310, ONYX 3000 и XHEMIS EX-2000 ориентированны на крупносерийное производство пластин толщиной до 200 мм.

Дифракционные детекторы – были разработаны для обеспечения оптимальной гибкости и минимального обслуживания и предложены на рынок: XSPA-400 ER пиксельный детектор с высоким энергетическим разрешением, способный проводить измерения 0, 1 и 2D и HyPix-3000 двумерный полупроводниковый детектор нового поколения с одним счетчиком фотонов с скоростью счета, превышающей 10⁶ cps / пиксель и практически без шума. Приборы HyPix-Arc 100° и HyPix-Arc 150° представляет собой изогнутый гибридный детектор рентгеновского излучения с подсчетом фотонов (HPC) для монокристаллических дифракционных приложений. Модели HyPix-6000HE и HyPix-Bantam - детекторы нового поколения высокой четкости с подсчетом фотонов (HPC). Большим преимуществом детекторов рентгеновского излучения высокой четкости является то, что каждый пиксель независим.

Анализаторы флуоресценции рентгеновского излучения с дисперсией по длине волны - приборы Micro-Z ULS и Micro-Z CL предназначены для анализа содержания серы  и хлора в дизельном топливе, бензине и других видах топлива имеют новую конструкцию, позволяющую измерять как пиковую, так и фоновую интенсивность серы и хлора.

Вспомогательное оборудование - специальная фокусирующая рентгеновская оптика (в том числе конфокальная) для дифракции рентгеновских лучей, поставки наборов реагентов, стандартных растворов, белков и аксессуаров для исследователей белков.

С более подробными характеристиками специализированных приборов, Вы можете по телефону 7-727-250-29-69электронной почте или напрямую в нашем офисе.

Системные и комплексные

подходы для образования, науки и промышленности

Аналитическое и лабораторное

оборудование для макро, микро и нано исследований

▲ Наверх